（全媒体记者 毛茜 张家东 摄）
日报讯 位于如东经济开发区（高新区），总投资3亿元的帝京半导体设备关键零部件项目已投产运行，达产后预计年新增应税销售5亿元。该项目采用自主研发的超高洁净清洗技术及不断完善的装备制程和检测标准，主产品半导5nm蚀刻机反应腔及关键部件的超洁净度和耐腐蚀度已达到国际领先水平。图为生产现场。
